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Parts

세라믹은 비금속 소재로, 높은 강도와 내화학적 안정성을 가지고 있습니다.
또한 전기적 절연체이며 고온에 강하고 내마모성이 뛰어납니다. 세라믹은 다양한 온도,
환경에서 사용될 수 있으며, 광학적으로 투명한 성질을 가진 경우도 있습니다.

특히 파인 세라믹은 고온에서 안정성이 뛰어나며 내부 구조가 밀집하여 내압과 내부 열 전달에
탁월한 소재입니다. 또한 환경에 미치는 영향이 적고 생리학적 호환성이 뛰어나기도 합니다.
이를 통해 향후 반도체, 이차전지, 우주 항공등 다양한 첨단 산업에서 핵심 역할을 수행할 소재입니다.

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Ceramic Parts 특징

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Chuck Plate

  • · 우수한 평면도, 평행도 (수 ㎛ 수준)
  • · 대상면에 Vacuum Hole 구현
  • · 저열전도도 (1.51 W/mK @RT)
  • · 정밀 가공 가능
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Attachment Tool

  • · 우수한 열전도도 (180+ W/mK @RT)
  • · 균일한 열전달 표면 구현
  • · 소모성 부품으로 유지 비용 절감
  • · 우수한 평면도, 평행도
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Metrology Beam

  • · 초정밀 면가공 (수 ㎛ 단위)
  • · 고강도
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Guide Ring

  • · 고강도
  • · 절연 특성

Application

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TC Bonding Equipment

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Ceramic Vacuum Chucking Plate

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Attachment Tool, Pick & Place

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Metal Coated Nozzle