Business Field
디스플레이용 Dry Etcher 장비의 핵심 부품인 Ceramic ESC(Electro Static Chuck)를 개발 및 제작하여 국내외 주요 고객사들에게 공급하고 있습니다.
디스플레이용 Ceramic ESC는 상부전극(Upper Electrode)와 하부전극(Lower Electrode) 등이 있으며 Dry Etcher 장비 내에서 정전력을 통해 패널을 고정시켜 주는 역할을 합니다.
당사는 2016년 국내 최초로 10.5세대 향 제품 및 Y Octa공정용 제품 양산에 성공하는 등 지속적인 기술 개발과 공정 개선, 양산라인 증설 등을 통해 경쟁력을 확보하고 있으며 신품 제작에서부터 전면(前面) 재생, 완전 재생 등의 다양한 서비스를 제공하고 있습니다.
| 구분 | Polyimide ESC | APS Coating ESC | Ceramic ESC |
|---|---|---|---|
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적용분야 |
반도체, 디스플레이 |
반도체, 디스플레이 |
반도체, LED |
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적용소재 |
UPILEX, KAPTON |
세라믹 플라즈마 코팅 |
알루미나, 질화알루미늄 |
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장점 |
대면적 |
대면적, 내플라즈마성 |
높은 내플라즈마성 |
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사용기간 (수명) |
보통 |
긴 수명 |
매우 긴 수명 |
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척(Chuck) 모드 |
쿨롱 |
쿨롱 |
쿨롱 또는 존슨-라벡 |
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열 전달 |
낮음 |
높음 |
매우 높음 |
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체적저항 (유전체) |
매우 높음 |
보통 |
높음 |
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유전체 두께 |
25 ~ 125 ㎛ |
500 ㎛ 이내 |
300 ~ 1,000 ㎛ |
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미코정전척 샘플 |
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