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사업분야

Business Part

MiCo

Heater

MiCo-Heater는 20년간 축적된 세라믹 소재 조성 및 소결 기술, 정밀 가공 및 접합
기술을 바탕으로 제작된 기능성 부품입니다.

고속 승온/냉각을 반복하여 높은 생산성을 구현하며, 우수한 평탄도/평행도 기반으로
작업면적에 균일한 열을 전달해 고품질 제품 생산이 가능합니다. Advanced Packaging 공정에
적용이 되는 핵심 부품으로 미코에서 개발된 소재를 이용하여 Heater를 다양한 형태로
제작 및 공급하고 있습니다.

heater top 이미지

Heater Line Up

ceramic part 슬라이드 이미지

MPH 016

  • Working Zone : 16 x 16mm
  • Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • Heating Speed : ≤ 1.5 sec.
  • Cooling Speed : ≤ 3 sec.
  • Load Capacity : ≤ 900N
  • Power Consumption : ≤ 1,538W
ceramic part 슬라이드 이미지

MPH 022

  • Working Zone : 22 x 22mm
  • Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • Heating Speed : ≤ 1.5 sec.
  • Cooling Speed : ≤ 3 sec.
  • Load Capacity : ≤ 1,100N
  • Power Consumption : ≤ 1,982W
ceramic part 슬라이드 이미지

MPH 028

  • Working Zone : 28 x 28mm
  • Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • Heating Speed : ≤ 2 sec.
  • Cooling Speed : ≤ 12 sec.
  • Load Capacity : ≤ 1,500N
  • Power Consumption : ≤ 2,688W
ceramic part 슬라이드 이미지

MPH 035

  • Working Zone : 35 x 35mm
  • Temp. Range : 150℃ → 450℃
  • Heating Speed : ≤ 3 sec.
  • Cooling Speed : ≤ 10 sec.
  • Load Capacity : ≤ 3,000N
  • Power Consumption : ≤ 6,050W
ceramic part 슬라이드 이미지

MPH 054

  • Working Zone : 54 x 54mm
  • Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • Heating Speed : ≤ 22 sec.
  • Cooling Speed : ≤ 30 sec.
  • Load Capacity : ≤ 5,000N
  • Power Consumption : ≤ 5,700W
ceramic part 슬라이드 이미지

MPH 060

  • Working Zone : 60 x 60mm
  • Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • Heating Speed : ≤ 22 sec.
  • Cooling Speed : ≤ 30 sec.
  • Load Capacity : ≤ 7,500N
  • Power Consumption : ≤ 5,000W
heater 특징 이미지

MPH 016

  • · Working Zone : 16 x 16mm
  • · Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • · Heating Speed : ≤ 1.5 sec.
  • · Cooling Speed : ≤ 3 sec.
  • · Load Capacity : ≤ 900N
  • · Power Consumption : ≤ 1,538W
heater 특징 이미지

MPH 022

  • · Working Zone : 22 x 22mm
  • · Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • · Heating Speed : ≤ 1.5 sec.
  • · Cooling Speed : ≤ 3 sec.
  • · Load Capacity : ≤ 1,100N
  • · Power Consumption : ≤ 1,982W
heater 특징 이미지

MPH 028

  • · Working Zone : 28 x 28mm
  • · Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • · Heating Speed : ≤ 2 sec.
  • · Cooling Speed : ≤ 12 sec.
  • · Load Capacity : ≤ 1,500N
  • · Power Consumption : ≤ 2,688W
heater 특징 이미지

MPH 035

  • · Working Zone : 35 x 35mm
  • · Temp. Range : 150℃ → 450℃
  • · Heating Speed : ≤ 3 sec.
  • · Cooling Speed : ≤ 10 sec.
  • · Load Capacity : ≤ 3,000N
  • · Power Consumption : ≤ 6,050W
heater 특징 이미지

MPH 054

  • · Working Zone : 54 x 54mm
  • · Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • · Heating Speed : ≤ 22 sec.
  • · Cooling Speed : ≤ 30 sec.
  • · Load Capacity : ≤ 5,000N
  • · Power Consumption : ≤ 5,700W
heater 특징 이미지

MPH 060

  • · Working Zone : 60 x 60mm
  • · Temp. Range : 50℃ → 450℃
  • · Heating Speed : ≤ 22 sec.
  • · Cooling Speed : ≤ 30 sec.
  • · Load Capacity : ≤ 7,500N
  • · Power Consumption : ≤ 5,000W

균일한 Heater 표면 열분포 구현

heater 표면 이미지
heater 표면 이미지
heater 표면 이미지

Application

package process 이미지

반도체 후공정 장비용 부품 소재

패키징공정

heater app 이미지
heater app 이미지
heater app 이미지

Flip Chip Bonding

heater app 이미지

TC - Microbump Bonding

heater app 이미지

TC-NCF Bonding

heater app 이미지

HBM

heater app 이미지

Al 반도체