MiCo
HTT_RS-CVIR Tech
미코의 CVIR-SiC (RS Series) 표면 처리를 통해 그라파이트 및 C/C 제품의
내산화 및 표면 안정화를 구현할 수 있습니다. SiC 표면 처리 후 치수 변형이 없으며,
그라파이트 및 C/C 제품의 표면 결함, 핀홀, 크렉, 탄소섬유 노출 등이 없으며,
아웃게스 및 파티클 발생을 제어합니다.
최대 사용 가능 온도는 A-RS = 1600℃, RS = 1400℃입니다.
경우에 따라 다층코팅이 가능하며 코팅의 접착력이 향상됩니다
Coating Property
MiCo RS SiC CVIR : SEM images
- · 내산화 향상 및 카본 표면 안정화
- · 표면 처리 후 치수 안정성 우수
- · Out-gas 및 이물 개선
- · 순도 향상 및 이상 반응 방지
- · 고객사 사용 환경에 따른 다양한 멀티 코팅 적용 가능
Application
Semicon Parts
MOCVD ARS SUSCEPTOR
MOCVD ARS SUSCEPTOR
ARS CFC ROBOT Hand
Functional Parts
ARS CC NUT
CFC Reinforced Fasteners
ARS CFC Fasteners
Heat treating Parts
ARS Brazing Graphite Mold
HTT - ARS CFC Setter
ARS Graphite Heater