제목 코미코, 반도체 박막 공정용 세라믹 히터 국산화 성공_(2012.04.03, 전자신문)
이름 관리자 작성일 2012-04-03 조회수 22874
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 http://www.etnews.com/news/device/device/2576336_1479.html [347]
당사의 반도체 박막 공정용 세라믹 히터 국산화 성공과 관련한 기사가 2012년 4월 3일자 전자신문에 게재되었습니다.

다음은 기사전문 입니다.

반도체 장비 부품업체 코미코(대표 전선규)가 반도체 박막 공정용 300㎜ 질화알루미늄(AIN) 세라믹 히터를
상용화하는데 성공했다고 1일 밝혔다. 반도체 장비에 사용되는 세라믹 히터는 90% 이상 수입에 의존하는
대표적인 반도체 부품으로 이번 상용화로 국산화 대체가 가능해졌으며 수출 가능성도 높아졌다. 코미코는
지난 2010년 지식경제부가 주관하는 성장동력사업에 선정돼 반도체 박막 공정 300㎜용 세라믹 히터 연구개발
사업에 착수, 최근 개발을 완료했다. 삼성전자와 SK하이닉스·동부하이텍 등 수요 업체들이 실시하는 기능 및
신뢰성 평가를 모두 통과했으며 올 상반기 중에 제품 공급을 시작할 예정이다.

이번 세라믹 히터는 반도체 종합장비 업체인 원익아이피에스와 공동으로 2년간 개발했으며 반도체 소자업체
양산라인에서 평가과정을 거쳐 상용화 테스트까지 무난하게 완료했다.

AlN 세라믹 히터는 반도체 화학기상증착(LPCVD) 공정에서 온도 안정성을 유지하면서 웨이퍼를 고온으로
직접 가열하는 역할을 하는 핵심부품으로 CVD 장비가격 약 10% 이상을 차지한다. 국내 반도체 소자업체와
장비업체가 연간 약 1000억원 규모로 수입하는 소모성 부품이다.

전선규 사장은 “반도체 장비 핵심부품인 세라믹 히터는 대부분 해외업체에 의존해왔으나 이번 국산화로 수입
대체는 물론 국산반도체 장비 경쟁력 제고에 기여할 것”이라며 “특히, 이번 개발로 고객이 요구하는 사양에 맞춰
제품을 개발하고 공급할 수 있는 기술 능력을 확보했다는데 더 큰 의미가 있다”고 말했다.

(출처 : 2012년 04월 03일자 전자신문, 서동규 기자).

 

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