미코 세라믹의 특성

ITEM UNIT AlN Al2O3 Y2O3 REMARK
Thermal Conductivity W/m-K 80 ~ 180 14 ~ 16 14 at 25 ℃
Thermal Expansion Coefficient 1E-6 /℃ 3.9 ~ 4.2 6.5 ~ 7.6 7.5 at 25 ℃
Heat Shock Resistance ΔT (℃) 400 200 140 -
Temperature Uniformity ≤ ± 1.5 ≤ ± 3.0 ≤ ± 3.0 -
Bending Strength MPa 350 320 130 -
Young’s Module Kg/mm2 28,000 37,000 17,300 -
Etching Rate - 0.4~0.5 1(Standard) 0.08~0.1 -
Picture



    AlN의 일반적인 특성
  • 내열성 및 내식성 우수
  • 공유결합과 이온결합
  • 소결이 비교적 용이 (다른 산화물에 비해 이온결합 특성이 크다)
  • 절연성 및 높은 열전도율
  • 온도상승에 따른 열전도율 감소가 낮다 (산화물에 비해서)
  • 단결정은 무색투명
  • 낮은 열팽창계수 (알루미나에 비해)
    AlN의 주요 용도
  • 반도체용 부품, 고전류용 스위치, 고주파 전력 증폭장치, 비산화 분위기용 내화골재, 금속용융용 도가니, 보호관, 소결용 치구



Resistance of Materials against Radical Attack

Material Resistance to F Resistance to Cl Resistance to O
HiCera 우수 양호 우수
Al2O3 양호 나쁨 양호
SiC 나쁨 나쁨 양호
Diamond 우수 우수 나쁨



Thermal conductivity

Thermal expansion coefficient



  Unit Al2O3 HiCeraTM (AlN)
Density g /Cm3 3.8 ≥ 3.28
Vickers Hardness GPa 16~18.5 9~12
CTE 1E-6 /℃ 6.0~6.5 4.5~4.9
Dielectric Constant - 9.2~10.2 8.8~9.5
Volume Resistivityt Ωㆍcm 1.0x1013 ≥ 1.0x 1013
Dielectric Strength kV /㎛ 14~15 ≥ 15



    장점
  • 우수한 내 플라즈마성 및 내식성
  • 우수한 파티클 저감 성능
  • 높은 라이프 타임
    응용분야
  • Heater Tube
  • Shadow-rings to guide wafer
  • Cover-plates at in-situ process (>Φ400mm)
  • Gas injectors and nozzles
  • Lift-pins and screws



AlN 세라믹의 공정도

AlN 세라믹의 제작 가능한 크기

단위(㎜)

  Plate type Tube type Injector type
Products
Min size Φ32 X T2 OD140 X ID102.5 X H197 OD14.8 X ID6.3 X H33
Max size φ380 X T17 OD 284 X ID 270 X H 150 OD14.8 X ID6.3 X H33
Full Capa.
(장비 1대 기준)
60ea / 1 Month
(φ342 X T5 기준)
10ea / 1 Month
(OD 284 X ID 270 X
H 150기준)
980ea / 1 Month
(OD 10.4 X ID 0.5 X
H 44.6 기준)

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