• 높은 열전도도 특성
  • 파티클 발생 감소
  • 플라즈마에 대한 낮은 식각률
  • 긴 사용 시간



  • 높은 열전도도 특성
  • 큰 사이즈 튜브 (외경 Φ274 x T150, 외경 Φ240 x T300)
  • 높은 열전도도 특성
  • 소형 절연판 사이즈 (Φ32 x T2.5)
  • 높은 생산성 ( 6000 개 / 1 Run)

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