정전척 소개

구분 Polyimide ESC Anodizing ESC APS Coating ESC Ceramic ESC
적용분야 반도체, 디스플레이 반도체 반도체, 디스플레이 반도체, LED
적용 소재 UPILEX, KAPTON 양극 산화 (황산) 세라믹 플라즈마 코팅 알루미나, 질화알루미늄
장점 대면적 낮은 가격 대면적, 내플라즈마성 높은 내플라즈마성
사용기간(수명) 보통 보통 긴 수명 매우 긴 수명
척(Chuck) 모드 쿨롱 존슨-라벡 쿨롱 쿨롱 또는 존슨-라벡
열 전달 낮음 중간 높음 매우 높음
체적저항(유전체) 매우 높음 낮음 보통 높음
유전체 두께 25 ~ 125 ㎛ 50 ㎛ 100 ~ 300 ㎛ 300 ~ 1,000 ㎛
미코정전척 샘플


LCD ESC (550x500)



Anodizing ESC (φ200)




8G LCD ESC
(Max. 2600x2300)



Ceramic ESC (φ300)



    반도체 공정용 정전척
  • 척(Chuck) 모드 : 쿨롱, 존슨-라벡
  • 전극 타입 : 단극형, 양극형
  • 적용 분야 : 건식 식각(Oxide, Poly, Metal),
    증착공정, ODF, Flip Chip
  • 적용 웨이퍼 크기 : 최대 Φ350㎜
  • 히터 발열영역 : 단일 영역, 이중 영역, 다중 영역
  • 제어 가능한 온도 범위 : 0 ~ 150℃
    (튜너블 정전척 : 온도 조절 가능한 타입)



    디스플레이(LCD / OLED) 공정용 정전척
  • 전극 타입 : 단극형, 양극형
  • 유리 기판 크기 : 최대 10.5세대
  • 정전척 크기 : 최대 3500×3300㎜

Repair


정전척 불량 유형 정전척 수리 방법
1. 헬륨 리크 (Leak High) 1. 세라믹 시트 재접합 수리
2. 선폭 불량 2. 정전척 측면 수리
3. 디척(De-chuck) 불량 3. 세라믹 시트 표면 수리
4. 오염물 발생 4. 세라믹 시트 교체 수리 (1~3항 포함)
5. 정전척 파손(세라믹 부분)  

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