AlN Heater

구분 저온용 고온용 온도 균일도 우수
사용온도 RT ~ 550℃ RT ~ 650℃ RT ~ 650℃
적용 Wafer 200mm, 300mm 200mm, 300mm 300mm
가열 Zone 1 Zone 1 Zone 2 Zone
사용 전압 208VAC 208VAC 208VAC
최대 용량 4kW 4kW 개별 4kW
열전대 종류 K Type K Type K Type
제어 방법 SCR 위상 제어 방식 SCR 위상 제어 방식 SCR 위상 제어 방식
Multi Zone 제어 - - 비율 제어

300mm AlN Heater

    구성
  • Inserting RF Layer
  • Inserting Heating Line - 1Layer, 1 Zone
  • 1 T/C
    구성
  • Inserting RF Layer
  • Inserting Heating Line
      - 1Layer, 2 Zone (Inner Zone, Outer Zone)
  • 1 T/C

200mm AlN Heater

    구성
  • Inserting RF Layer
  • Inserting Heating Line - 1Layer, 1 Zone
  • 1 T/C
    Feature (1 Zone)
  • 200mm / 300mm wafer
  • 열전도도 우수 (170W/m·K)
  • 내구성 우수
  • 부식 저항성 우수
  • 다양한 CVD공정 내 Wafer 온도 균일도 우수
    Feature (2 Zone)
  • One Zone Heater보다 Wafer온도 균일도 우수
  • 300mm Wafer 공정 내 개별 Zone제어하여 온도 균일도 최적화

AlN Heater Repair

Schematic for AlN Heater

수리 Mode 수리 목적 수리 항목
표면 수리 Embossing에 의한
1) 박막 불 균일도 수리
2) Wafer Sticking현상 수리
표면 평탄도Embossing
Rod 수리 Al Mount or Rod부 Arcing수리 신규 Rod접합
Shaft 수리 Shaft Crack수리 신규 Shaft접합

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